Herstellung von Gitterstrukturen mit Aspektverhältnis 100 für die Phasenkontrastbildgebung in einem Talbot-Interferometer

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https://www.ksp.kit.edu/9783731500162
Author(s)
Kenntner, Johannes
Language
German
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Abstract
Für Objekte mit sehr ähnlichen Absorptionskoeffizienten, wie gesundes und karzinogenes Gewebe liefert der Absorptionskontrast häufig unzureichende Informationen. Eine vielversprechende Methode einer kontrastreichen Bildgebung bietet jedoch die Phasenkontrast Bildgebung in einem Talbot-Interferometer. Hierfür werden Gitter mit hohen Aspektverhältnissen benötigt. Im Rahmen dieses Buchs wird der LIGAProzess genutzt, um erstmalig Gitter mit einem Aspektverhältnis von mindestens 100 herzustellen.
URI
https://directory.doabooks.org/handle/20.500.12854/49244
Keywords
Talbot-Interferometer; LIGA; Aspektverhältnis; Phasenkontrast; Röntgenoptik
DOI
10.5445/KSP/1000034458
ISBN
9783731500162
Publisher
KIT Scientific Publishing
Publisher website
http://www.ksp.kit.edu/
Publication date and place
2013
Series
Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik,
Classification
Technology: general issues
Pages
XII, 186 p.
Review type
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Books or series editor
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