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dc.contributor.authorBär, Manfred [Hrsg.]*
dc.date.accessioned2021-02-11T20:27:02Z
dc.date.available2021-02-11T20:27:02Z
dc.date.issued2006*
dc.date.submitted2019-07-30 20:02:01*
dc.identifier35452*
dc.identifier.issn16145267*
dc.identifier.urihttps://directory.doabooks.org/handle/20.500.12854/54182
dc.description.abstractIm Rahmen des BMBF-Verbundprojekts MikroFEMOS wurde eine Fertigungs-Infrastruktur für einen mikrooptischen Abstandssensor entwickelt, die einen deutlichen Schritt nach vorn in Richtung ""Small Equipment for small Parts"" darstellt. Im vorliegenden Beitrag wird dieses System vorgestellt und es werden die erforderlichen Prozesse zur Herstellung des hybrid aufgebauten Sensors beschrieben.*
dc.languageGerman*
dc.relation.ispartofseriesSchriftenreihe des Instituts für Angewandte Informatik / Automatisierungstechnik*
dc.subjectT1-995*
dc.subject.otherOptischer Sensor*
dc.titleMyFEMOS, Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren*
dc.typebook
oapen.identifier.doi10.5445/KSP/1000003769*
oapen.relation.isPublishedBy68fffc18-8f7b-44fa-ac7e-0b7d7d979bd2*
virtual.oapen_relation_isPublishedBy.publisher_nameKIT Scientific Publishing
virtual.oapen_relation_isPublishedBy.publisher_websitehttp://www.ksp.kit.edu/
oapen.relation.isbn3937300953*
oapen.pagesXVIII, 91 p.*
oapen.volume10*


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