Modular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit Mikroaktoren
dc.contributor.author | Schüle, Sven | * |
dc.date.accessioned | 2021-02-11T20:01:29Z | |
dc.date.available | 2021-02-11T20:01:29Z | |
dc.date.issued | 2010 | * |
dc.date.submitted | 2019-07-30 20:01:58 | * |
dc.identifier | 34493 | * |
dc.identifier.issn | 18695183 | * |
dc.identifier.uri | https://directory.doabooks.org/handle/20.500.12854/53802 | |
dc.description.abstract | Die Modularisierung technischer Systeme bietet auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik im Bereich der Sensor- und Analysesysteme erhöhte Systemflexibilität bei sinkenden Herstell- und Entwicklungskosten. Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung, Realisierung und Charakterisierung aktorbasierter mikrooptischer Systeme anhand eines adaptiven Mach-Zehnder Mikrointerferometers in modularer Bauweise. Als Basis dient die LIGA-Technologie in Kombination mit kommerziellen Systemkomponenten. | * |
dc.language | German | * |
dc.relation.ispartofseries | Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik | * |
dc.subject | T1-995 | * |
dc.subject.classification | thema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TB Technology: general issues | en_US |
dc.subject.other | Mikrosystemtechnik | * |
dc.subject.other | Interferometer | * |
dc.subject.other | LIGA-Mikrosysteme | * |
dc.subject.other | Mikroaktorik | * |
dc.subject.other | modulare Mikrosysteme | * |
dc.title | Modular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit Mikroaktoren | * |
dc.type | book | |
oapen.identifier.doi | 10.5445/KSP/1000018509 | * |
oapen.relation.isPublishedBy | 68fffc18-8f7b-44fa-ac7e-0b7d7d979bd2 | * |
oapen.relation.isbn | 9783866445291 | * |
oapen.pages | 176 p. | * |
oapen.volume | 3 | * |
peerreview.review.type | Full text | |
peerreview.anonymity | All identities known | |
peerreview.reviewer.type | Editorial board member | |
peerreview.reviewer.type | External peer reviewer | |
peerreview.review.stage | Pre-publication | |
peerreview.open.review | No | |
peerreview.publish.responsibility | Books or series editor | |
peerreview.id | 51a542ec-eaeb-47c2-861d-6022e981a97a | |
peerreview.title | Dissertations in Series (Dissertationen in Schriftenreihe) |
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