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dc.contributor.authorSchüle, Sven*
dc.date.accessioned2021-02-11T20:01:29Z
dc.date.available2021-02-11T20:01:29Z
dc.date.issued2010*
dc.date.submitted2019-07-30 20:01:58*
dc.identifier34493*
dc.identifier.issn18695183*
dc.identifier.urihttps://directory.doabooks.org/handle/20.500.12854/53802
dc.description.abstractDie Modularisierung technischer Systeme bietet auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik im Bereich der Sensor- und Analysesysteme erhöhte Systemflexibilität bei sinkenden Herstell- und Entwicklungskosten. Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung, Realisierung und Charakterisierung aktorbasierter mikrooptischer Systeme anhand eines adaptiven Mach-Zehnder Mikrointerferometers in modularer Bauweise. Als Basis dient die LIGA-Technologie in Kombination mit kommerziellen Systemkomponenten.*
dc.languageGerman*
dc.relation.ispartofseriesSchriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik*
dc.subjectT1-995*
dc.subject.otherMikrosystemtechnik*
dc.subject.otherInterferometer*
dc.subject.otherLIGA-Mikrosysteme*
dc.subject.otherMikroaktorik*
dc.subject.othermodulare Mikrosysteme*
dc.titleModular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit Mikroaktoren*
dc.typebook
oapen.identifier.doi10.5445/KSP/1000018509*
oapen.relation.isPublishedBy68fffc18-8f7b-44fa-ac7e-0b7d7d979bd2*
virtual.oapen_relation_isPublishedBy.publisher_nameKIT Scientific Publishing
virtual.oapen_relation_isPublishedBy.publisher_websitehttp://www.ksp.kit.edu/
oapen.relation.isbn9783866445291*
oapen.pages176 p.*
oapen.volume3*


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