Modular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit Mikroaktoren
Abstract
Die Modularisierung technischer Systeme bietet auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik im Bereich der Sensor- und Analysesysteme erhöhte Systemflexibilität bei sinkenden Herstell- und Entwicklungskosten. Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung, Realisierung und Charakterisierung aktorbasierter mikrooptischer Systeme anhand eines adaptiven Mach-Zehnder Mikrointerferometers in modularer Bauweise. Als Basis dient die LIGA-Technologie in Kombination mit kommerziellen Systemkomponenten.
Keywords
Mikrosystemtechnik; Interferometer; LIGA-Mikrosysteme; Mikroaktorik; modulare MikrosystemeISBN
9783866445291Publisher
KIT Scientific PublishingPublisher website
http://www.ksp.kit.edu/Publication date and place
2010Series
Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik,Classification
Technology: general issues