Herstellung photonischer Komponenten durch Heißprägen und UV-induzierte Brechzahlmodifikation von PMMA
Abstract
Im Polymer PMMA wurden durch Heißprägen sowohl stark führende, passive optische Wellenleiter wie auch organische DFB-Laser hergestellt und charakterisiert. Die Replikation der Strukturen erfolgte dabei durch auf Basis von mit UV- und Röntgenlithografie strukturierten Nickel-Shim-Formeinsätzen im LIGA-Verfahren.
Keywords
PMMA; Wellenleiter; HeißprägenISBN
9783866442214Publisher
KIT Scientific PublishingPublisher website
http://www.ksp.kit.edu/Publication date and place
2008Classification
Technology: general issues