Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken
Abstract
In der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografie oder Bedampfen durch eine Maske sowie kontrollierte Elektromigration im Ultrahochvakuum hergestellt und mittels Rastersondentechniken charakterisiert. Aus den Rastersondenbildern lassen sich in Verbindung mit den Elektromigrationsdaten Rückschlüsse auf die Entstehung der Morphologie des erzeugten Kontakts ziehen.
Keywords
Elektromigration; Nanostrukturen; Rastersondenmikroskopie; Maskenbedampfung; ElektronenstrahllithografieISBN
9783866448438Publisher
KIT Scientific PublishingPublisher website
http://www.ksp.kit.edu/Publication date and place
2012Series
Experimental Condensed Matter Physics / Karlsruher Institut für Technologie, Physikalisches Institut,Classification
Physics