Entwicklung von Spritzgießsonderverfahren zur Herstellung von Mikrobauteilen durch galvanische Replikation

Abstract

Gegenstand ist die Entwicklung eines Verfahrens, bei dem über das Mehrkomponenten-Spritzgießen, kombiniert mit der Galvanoformung (MSG-Prozess), metallische Mikrobauteile mit Oberflächenrauheiten von Rz < 1 µm hergestellt werden können. In dem Verfahren wird die hohe Abformgenauigkeit des Kunststoffspritzgießens genutzt, um LIGA-Strukturen über die galvanische Replikation hochgenau zu kopieren. Dadurch entstehen metallische Bauteile mit zur LIGA-Technik vergleichbar guten Oberflächenqualitäten.