Entwicklung von elektrochemisch abgeschiedenem LIGA-Ni-Al für Hochtemperatur-MEMS-Anwendungen
Abstract
Ni-Al-Superlegierungen sind bekannt für ihre guten mechanischen Eigenschaften unter hohen Temperaturen. Die elektrochemische Abscheidung von Ni mit Al-Nanopartikeln in LIGA-Strukturen und folgender Wärmebehandlung bietet die Möglichkeit, Ni-Al Superlegierungen für Hochtemperatur-LIGA-MEMS nutzbar zu machen. Über LIGA abgeschiedene Ni-Al-Mikrozugprüfkörper zeigen in Mikrozug- sowie Mikrokriechversuche eine verbesserte thermische Stabilität gegen plastische Verformung.
Keywords
Superlegierung; LIGA; Mikrosysteme; NickelISBN
9783731500261Publisher
KIT Scientific PublishingPublisher website
http://www.ksp.kit.edu/Publication date and place
2013Series
Schriftenreihe des Instituts für Angewandte Materialien, Karlsruher Institut für Technologie,Classification
Technology: general issues