Effizienter Betrieb von Xenon-Excimer-Entladungen bei hoher Leistungsdichte
Abstract
In der vorliegenden Arbeit wurde der Betrieb dielektrisch behinderte Entladung bei hoher Leistungsdichte und hoher Effizienz untersucht. Hierbei wurde eine Abhängigkeit der homogenen Entladung von der Stromdichte festgestellt. Die nötige Anregungsform wurde in einem resonanten Puls-Betriebsgerät verwirklicht, welches Wirkungsgrade bis 87 % erreicht. Durch goniometrische Strahlungsflussmessungen im UV wurden die erreichte Leistungsdichte und Plasma-Effizienz bestimmt.
Keywords
Betriebsgeräte; Excimer; DBE; gepulst; XenonISBN
9783866445017Publisher
KIT Scientific PublishingPublisher website
http://www.ksp.kit.edu/Publication date and place
2010Classification
Technology: general issues