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Chemische und elektrochemische Methoden zur Oberflächenbearbeitung von galvanogeformten Nickel-Mikrostrukturen

dc.contributor.authorKißling, Stephanie*
dc.date.accessioned2021-02-11T09:47:05Z
dc.date.available2021-02-11T09:47:05Z
dc.date.issued2010*
dc.date.submitted2019-07-30 20:02:00*
dc.identifier35227*
dc.identifier.issn18695183*
dc.identifier.urihttps://directory.doabooks.org/handle/20.500.12854/43097
dc.description.abstractIm Rahmen dieser Arbeit wurden drei verschiedene (elektro-) chemische Verfahren sowie die Verfahrenskombination Läppen und Elektropolieren zur Oberflächenbearbeitung von LIGA-Nickel-Mikrostrukturen in Hinblick auf die Verringerung der Rauheiten und die Reduzierung der Schichtdickeninhomogenität untersucht. Des Weiteren wurde auf die Problematik der Rauheitsmessung der in ihrer Messlänge begrenzten Mikrostrukturen eingegangen und eine Lösung mittels der spektralen Leistungsdichte erarbeitet.*
dc.languageGerman*
dc.relation.ispartofseriesSchriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik*
dc.subjectT1-995*
dc.subject.classificationthema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TB Technology: general issuesen_US
dc.subject.otherChemisch-mechanisches Planarisieren (CMP)*
dc.subject.otherElektropolieren*
dc.subject.otherPlasmapolieren*
dc.subject.otherRauheitsmessung*
dc.subject.otherMikrogalvanoformung*
dc.titleChemische und elektrochemische Methoden zur Oberflächenbearbeitung von galvanogeformten Nickel-Mikrostrukturen*
dc.typebook
oapen.identifier.doi10.5445/KSP/1000019375*
oapen.relation.isPublishedBy68fffc18-8f7b-44fa-ac7e-0b7d7d979bd2*
oapen.relation.isbn9783866445482*
oapen.pagesII, 109 p.*
oapen.volume6*
peerreview.review.typeFull text
peerreview.anonymityAll identities known
peerreview.reviewer.typeEditorial board member
peerreview.reviewer.typeExternal peer reviewer
peerreview.review.stagePre-publication
peerreview.open.reviewNo
peerreview.publish.responsibilityBooks or series editor
peerreview.id51a542ec-eaeb-47c2-861d-6022e981a97a
peerreview.titleDissertations in Series (Dissertationen in Schriftenreihe)


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